改良西門子法是一種化學(xué)方法，主要由三氯氫硅與氫氣在1050℃～1150℃，一定壓力下進(jìn)行還原氣象沉積反應(yīng)生產(chǎn)高純多晶硅，該工藝一直是半導(dǎo)體行業(yè)電子級多晶硅生產(chǎn)最主要的工藝方法。其中，還原爐和氫化爐是改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的核心設(shè)備，其運(yùn)行好壞直接影響多晶硅質(zhì)量及生產(chǎn)成本。還原爐和氫化爐為電耗較高的設(shè)備，一般企業(yè)為降低電耗及成本，大都釆取調(diào)整工藝參數(shù)、提供進(jìn)料溫度、提高冷卻水溫、清洗鐘罩等方法，其中鐘罩清洗對多晶硅生產(chǎn)非常重要，如果鐘罩清洗不干凈、光潔度不夠，常常會導(dǎo)致硅芯擊不穿或?qū)Ξa(chǎn)品質(zhì)量污染，因此擁有一套完善的多晶硅還原爐清洗系統(tǒng)對多晶硅生產(chǎn)廠家顯得尤為重要。

 

 

國內(nèi)多晶硅鐘罩清洗方式多種多樣，有高壓清洗、化學(xué)溶劑低壓清洗、機(jī)械拋光等，但大多釆用堿液中壓清洗。我們在使用過程中發(fā)現(xiàn)這些清洗方式不能將鐘罩清洗干凈，不能滿足生產(chǎn)需求。為此，北京德高潔清潔設(shè)備有限公司經(jīng)過研發(fā)設(shè)計(jì)并制造出了多晶硅自動化還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)。

 

 

多晶硅自動化還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)是以高壓水射流為動力的自驅(qū)動三維旋轉(zhuǎn)噴頭形成360°的網(wǎng)狀高壓水柱噴射表面，從而完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，并采用專用清洗劑等為主要清洗液，先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，之后再采用高純水沖洗，最終完成清洗過程。具體特點(diǎn)如下：

 

 

1、核心部件高壓泵采用進(jìn)口耐酸堿、耐高溫、全不銹鋼的加壓泵，清洗作業(yè)時(shí)三維旋轉(zhuǎn)噴頭可實(shí)現(xiàn)自驅(qū)動旋轉(zhuǎn)、自動升降、全方位自動清洗，并可保證多晶硅的純度；

 

2、利用多晶硅生產(chǎn)廠家的蒸汽余熱將清洗介質(zhì)加熱，從而改變原電加熱工藝；

 

3、利用多晶硅生產(chǎn)廠家的廠家蒸汽余熱，設(shè)置10萬級空氣凈化換熱裝置代替原氮?dú)怆娂訜岣稍镞�原爐體工藝；

 

4、北京德高潔清潔設(shè)備有限公司自行研發(fā)設(shè)計(jì)的自驅(qū)動旋轉(zhuǎn)升降噴射機(jī)構(gòu)可適應(yīng)各規(guī)格的還原爐體；

 

5、由于清洗過程中會有氫氣和酸性物質(zhì)產(chǎn)生，所以必須解決二次污染問題。我公司自行設(shè)計(jì)的全封閉式清洗裝置可完美解決二次污染；

 

6、設(shè)計(jì)出高壓堿液和清水的供給和分開回收裝置，并進(jìn)行凈化使后序清洗水用于前序的漂洗工序，充分利用了廢水資源。

 

實(shí)際使用證明，北京德高潔清潔設(shè)備有限公司研發(fā)生產(chǎn)的多晶硅自動化還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)有效解決了生產(chǎn)中的實(shí)際問題，為公司節(jié)能降耗提供了有利條件，適用于在全國范圍推廣應(yīng)用。