悶聲干大事！德高潔開(kāi)啟電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)新紀(jì)元！
時(shí)間：2023-03-06 17:05:00作者：LeeZhou來(lái)源：德高潔清潔設(shè)備分享到：QQ空間新浪微博騰訊微博人人網(wǎng)微信
電子級(jí)多晶硅是我國(guó)發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略原材料，長(zhǎng)期以來(lái)，生產(chǎn)技術(shù)一直由國(guó)外壟斷，成為中國(guó)發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的瓶頸。隨著國(guó)內(nèi)企業(yè)的不斷努力，近年來(lái)國(guó)內(nèi)電子級(jí)多晶硅迎頭趕上，擺脫國(guó)外進(jìn)口依賴(lài)，在質(zhì)量、產(chǎn)量、出口等方面取得不錯(cuò)成績(jī)，未來(lái)，中國(guó)多晶硅生產(chǎn)在全球市場(chǎng)具有良好的發(fā)展前景。
由于電子級(jí)多晶硅高純度的規(guī)格，為達(dá)到生產(chǎn)要求，企業(yè)不僅在生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)設(shè)備上不斷升級(jí)，為確保電子級(jí)多晶硅質(zhì)量不受更多外在因素影響，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境也近乎達(dá)到苛刻的要求，目前電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)的主流方式是西門(mén)子改良法，還原爐作為改良西門(mén)子法生產(chǎn)多晶硅的核心設(shè)備，是影響多晶硅生產(chǎn)和產(chǎn)能的關(guān)鍵因素，任何顆粒性雜質(zhì)、物料等物質(zhì)余留在爐內(nèi)，都會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。
在多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中，多晶硅還原爐鐘罩內(nèi)壁會(huì)被高溫混合氣體燒黑，表面沉積一定厚度的多晶硅、無(wú)定型硅、高硅氯聚物等雜物，導(dǎo)致還原爐內(nèi)表面粗糙不平等，影響生產(chǎn)質(zhì)量、良品率低、生產(chǎn)成本上升、生產(chǎn)效率下降，所以在還原爐運(yùn)行一個(gè)周期結(jié)束后，必須對(duì)還原鐘罩內(nèi)部進(jìn)行清洗，確保電子級(jí)多晶硅在高純環(huán)境下生產(chǎn)。
德高潔作為一家專(zhuān)業(yè)的環(huán)保設(shè)備供應(yīng)商，早在2009年就研發(fā)出多晶硅還原爐清洗系統(tǒng)，并經(jīng)過(guò)對(duì)客戶(hù)的實(shí)際應(yīng)用和需求，充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，完成了電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)研發(fā)，近年來(lái)，德高潔緊跟多晶硅行業(yè)生產(chǎn)腳步，技術(shù)也在不斷升級(jí)更新，一直保持前沿清洗技術(shù)，為多晶硅廠商提供與電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)并駕齊驅(qū)配套清洗解決方案，旨為電子級(jí)多晶硅的高純度生產(chǎn)助力。
德高潔電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)包括低壓熱水清洗動(dòng)力裝置、三維洗罐器、旋轉(zhuǎn)和升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)、清洗工作臺(tái)、萬(wàn)級(jí)凈化干燥系統(tǒng)、循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)、控制裝置、微負(fù)壓系統(tǒng)、清洗工作臺(tái)、電氣控制系統(tǒng)等，系統(tǒng)核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口，在確保系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定可靠前提下，完成對(duì)電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩的全自動(dòng)清洗和烘干操作。
系統(tǒng)以高壓水射流為動(dòng)力驅(qū)動(dòng)三維洗罐器，形成360°的網(wǎng)狀噴射表面，完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，用氫氧化鈉溶液等為主要清洗液，用純水漂洗，用高純水沖洗完成清洗過(guò)程；隨后用經(jīng)過(guò)三級(jí)凈化(10萬(wàn)級(jí))的純凈空氣，加熱后（50~80℃）烘干加熱鐘罩，再逐步降溫到常溫，通過(guò)連續(xù)干燥，完成干燥過(guò)程。
全密閉式清洗烘干系統(tǒng)，使污染物（廢氣、廢水等）在受控的條件下，按設(shè)計(jì)出口排放，基本消除了對(duì)環(huán)境境污染及現(xiàn)場(chǎng)操作人員的安全隱患。系統(tǒng)加多處安全互鎖功能（樓上、樓下操作，缺水保護(hù)，超壓保護(hù)、漏電保護(hù)，水風(fēng)工作互鎖等），確保安全運(yùn)行。
德高潔電子級(jí)多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，采用PLC+觸摸屏柔性自動(dòng)控制系統(tǒng)，能實(shí)現(xiàn)對(duì)還原爐鐘罩的自動(dòng)清洗和烘干，清洗烘干時(shí)間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數(shù)可以根據(jù)需要自行調(diào)整設(shè)定，同時(shí)具有半自動(dòng)或手動(dòng)功能，一次吊裝在一個(gè)工作臺(tái)上完成全部清洗、烘干過(guò)程，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程對(duì)樓下設(shè)備的控制和主要參數(shù)監(jiān)控。
除此之外，德高潔電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)可根據(jù)客戶(hù)需求，結(jié)合廠商使用的不同鐘罩、車(chē)間廠房的情況，能源條件不同，提供個(gè)性化設(shè)計(jì)。目前，德高潔在多晶硅還原爐清洗行業(yè)已擁有國(guó)內(nèi)90%的用戶(hù)，為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)。
德高潔成立于1994年，在環(huán)保除塵、凈化成套裝備、工業(yè)設(shè)備清潔領(lǐng)域已積累了近三十年的業(yè)內(nèi)寶貴經(jīng)驗(yàn)，期間自主研發(fā)并生產(chǎn)了一系列高壓清洗機(jī)（120~2800bar）、自動(dòng)化清洗系統(tǒng)、智能清洗爬壁機(jī)器人等，公司擁有20余人研發(fā)團(tuán)隊(duì)，旗下部署工藝組、技術(shù)組、質(zhì)檢組，實(shí)時(shí)管控產(chǎn)品性能、質(zhì)量，并通過(guò)ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。長(zhǎng)期服務(wù)于國(guó)企、軍工、外資、上市公司等500強(qiáng)企業(yè)，德高潔將繼續(xù)以客戶(hù)需求為基準(zhǔn)，用現(xiàn)代技術(shù)、標(biāo)準(zhǔn)工藝，竭誠(chéng)為客戶(hù)服務(wù)。
由于電子級(jí)多晶硅高純度的規(guī)格，為達(dá)到生產(chǎn)要求，企業(yè)不僅在生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)設(shè)備上不斷升級(jí)，為確保電子級(jí)多晶硅質(zhì)量不受更多外在因素影響，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境也近乎達(dá)到苛刻的要求，目前電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)的主流方式是西門(mén)子改良法，還原爐作為改良西門(mén)子法生產(chǎn)多晶硅的核心設(shè)備，是影響多晶硅生產(chǎn)和產(chǎn)能的關(guān)鍵因素，任何顆粒性雜質(zhì)、物料等物質(zhì)余留在爐內(nèi)，都會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。
在多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中，多晶硅還原爐鐘罩內(nèi)壁會(huì)被高溫混合氣體燒黑，表面沉積一定厚度的多晶硅、無(wú)定型硅、高硅氯聚物等雜物，導(dǎo)致還原爐內(nèi)表面粗糙不平等，影響生產(chǎn)質(zhì)量、良品率低、生產(chǎn)成本上升、生產(chǎn)效率下降，所以在還原爐運(yùn)行一個(gè)周期結(jié)束后，必須對(duì)還原鐘罩內(nèi)部進(jìn)行清洗，確保電子級(jí)多晶硅在高純環(huán)境下生產(chǎn)。
德高潔作為一家專(zhuān)業(yè)的環(huán)保設(shè)備供應(yīng)商，早在2009年就研發(fā)出多晶硅還原爐清洗系統(tǒng)，并經(jīng)過(guò)對(duì)客戶(hù)的實(shí)際應(yīng)用和需求，充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，完成了電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)研發(fā)，近年來(lái)，德高潔緊跟多晶硅行業(yè)生產(chǎn)腳步，技術(shù)也在不斷升級(jí)更新，一直保持前沿清洗技術(shù)，為多晶硅廠商提供與電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)并駕齊驅(qū)配套清洗解決方案，旨為電子級(jí)多晶硅的高純度生產(chǎn)助力。
德高潔電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)包括低壓熱水清洗動(dòng)力裝置、三維洗罐器、旋轉(zhuǎn)和升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)、清洗工作臺(tái)、萬(wàn)級(jí)凈化干燥系統(tǒng)、循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)、控制裝置、微負(fù)壓系統(tǒng)、清洗工作臺(tái)、電氣控制系統(tǒng)等，系統(tǒng)核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口，在確保系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定可靠前提下，完成對(duì)電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩的全自動(dòng)清洗和烘干操作。
系統(tǒng)以高壓水射流為動(dòng)力驅(qū)動(dòng)三維洗罐器，形成360°的網(wǎng)狀噴射表面，完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，用氫氧化鈉溶液等為主要清洗液，用純水漂洗，用高純水沖洗完成清洗過(guò)程；隨后用經(jīng)過(guò)三級(jí)凈化(10萬(wàn)級(jí))的純凈空氣，加熱后（50~80℃）烘干加熱鐘罩，再逐步降溫到常溫，通過(guò)連續(xù)干燥，完成干燥過(guò)程。
全密閉式清洗烘干系統(tǒng)，使污染物（廢氣、廢水等）在受控的條件下，按設(shè)計(jì)出口排放，基本消除了對(duì)環(huán)境境污染及現(xiàn)場(chǎng)操作人員的安全隱患。系統(tǒng)加多處安全互鎖功能（樓上、樓下操作，缺水保護(hù)，超壓保護(hù)、漏電保護(hù)，水風(fēng)工作互鎖等），確保安全運(yùn)行。
德高潔電子級(jí)多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，采用PLC+觸摸屏柔性自動(dòng)控制系統(tǒng)，能實(shí)現(xiàn)對(duì)還原爐鐘罩的自動(dòng)清洗和烘干，清洗烘干時(shí)間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數(shù)可以根據(jù)需要自行調(diào)整設(shè)定，同時(shí)具有半自動(dòng)或手動(dòng)功能，一次吊裝在一個(gè)工作臺(tái)上完成全部清洗、烘干過(guò)程，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程對(duì)樓下設(shè)備的控制和主要參數(shù)監(jiān)控。
除此之外，德高潔電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)可根據(jù)客戶(hù)需求，結(jié)合廠商使用的不同鐘罩、車(chē)間廠房的情況，能源條件不同，提供個(gè)性化設(shè)計(jì)。目前，德高潔在多晶硅還原爐清洗行業(yè)已擁有國(guó)內(nèi)90%的用戶(hù)，為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)。
德高潔成立于1994年，在環(huán)保除塵、凈化成套裝備、工業(yè)設(shè)備清潔領(lǐng)域已積累了近三十年的業(yè)內(nèi)寶貴經(jīng)驗(yàn)，期間自主研發(fā)并生產(chǎn)了一系列高壓清洗機(jī)（120~2800bar）、自動(dòng)化清洗系統(tǒng)、智能清洗爬壁機(jī)器人等，公司擁有20余人研發(fā)團(tuán)隊(duì)，旗下部署工藝組、技術(shù)組、質(zhì)檢組，實(shí)時(shí)管控產(chǎn)品性能、質(zhì)量，并通過(guò)ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。長(zhǎng)期服務(wù)于國(guó)企、軍工、外資、上市公司等500強(qiáng)企業(yè)，德高潔將繼續(xù)以客戶(hù)需求為基準(zhǔn)，用現(xiàn)代技術(shù)、標(biāo)準(zhǔn)工藝，竭誠(chéng)為客戶(hù)服務(wù)。
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